一种具有应急切换功能的真空管路及其干法刻蚀机台
专利号：CN220604612U
成果方：盛合晶微半导体(江阴)有限公司
成果类型：实用新型
发明人：姚琦; 周祖源
授权日：2024-03-15
价值预估：请联系我们获取最新价值
本实用新型涉及一种具有应急切换功能的真空管路，设有第一干泵、第二干泵；在第一干泵、第二干泵的上方均设有真空管路；在第一干泵上方的真空管路与第二干泵上方的真空管路之间设有连接支管；连接支管上设有开关阀；第一干泵上方的真空管路上设有第三开关阀及压力计；开关阀为电控开关阀；压力计为电子压力计；电控开关阀与压力计共同接入应急切换控制装置内。将第一干泵通过真空管路与刻蚀工作腔相连，第二干泵通过真空管路与预抽真空腔相连，即形成具有应急切换功能的干法刻蚀机台。本实用新型结构简单，易于对现有的干法刻蚀机台的真空管路进行改造，从而可提高刻蚀过程中的真空安全性，避免晶圆损坏，也避免损失扩大。