一种光阻稀释剂的供应系统
专利号：CN215918499U
成果方：芯恩(青岛)集成电路有限公司
成果类型：实用新型
发明人：刘敬文
授权日：2022-03-01
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本实用新型提供一种光阻稀释剂的供应系统，该供应系统包括稀释剂供应罐、压力泵、第一阀门、第二阀门、喷嘴阀门，该供应系统采用稀释剂供应罐以集中供应的方式提供光阻稀释剂，无需购置单独的桶装稀释剂，极大的缩减了成本，省去了频繁的更换灌装，降低化工安全隐患。同时可以选择性地对管路全部清洁或是部分清洁，具有一定的灵活性。此外，通过该供应系统可以将光阻稀释剂输送至稀释剂存储桶中储存起来，完成储存的稀释剂存储桶可以用于应急使用，同时也适用于不同光源波长的机台，从而进一步缩减成本。