一种硅烷气体应急排泄装置
专利号：CN220287111U
成果方：浙江中宁硅业有限公司
成果类型：实用新型
发明人：陈超; 伦道夫·克拉博·沃勒; 颜涂缘; 马启廷
授权日：2024-01-02
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本实用新型涉及一种硅烷气体应急排泄装置。该硅烷气体应急排泄装置包括硅烷气管、抽气管、氮气管以及排放管，硅烷气管的一端与排放管连接、另一端与硅烷气源连接，氮气管的一端与排放管连接、另一端与氮气源连接，硅烷气管上沿出气方向依次设有硅烷阀、第一高压手阀、一级硅烷减压阀，氮气管上沿出气方向依次设有放空阀以及氮气减压阀，氮气管与硅烷气管通过连接管连接，连接管的一端连接在放空阀进气端一侧的氮气管上、另一端连接在第一高压手阀进气端一侧的硅烷气管上。本实用新型通过可靠的泄漏应急处理设计，高度可靠的密封连接方式，彻底消除安全隐患。本实用新型降低传输过程中的泄漏，妥善处理排放的气体和泄漏钢瓶，有效降低环境污染。