一种单晶炉用氩气进气控制装置
专利号：CN217026138U
成果方：浙江精功科技股份有限公司
成果类型：实用新型
发明人：谢剑舟; 朱一鸣; 袁华中; 史冰冰; 莱迪文
授权日：2022-07-22
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本实用新型提供一种单晶炉用氩气进气控制装置，包括四条进气线路，正常拉晶切换至特殊拉晶状态时，从第一进气线路的副炉流量控制气路和第三进气线路切换至第二进气线路的主炉流量控制气路和第一进气线路的电动快充气路，在质量流量控制器和电磁阀等部件的配合作用下，保证了生产切换时氩气供应的稳定。当电磁阀等通电部件工作异常或断电时，切换至第一进气线路副炉手动应急气路和第二进气线路的主炉手动应急气路，通过手动阀控制实现对副炉室和主炉室的惰性气氛保护，保证硅单晶棒的成晶率和成晶品质。外置加料器进气线路中，氩气通过电磁阀进入外置加料器，实现外置加料器的气氛保护及压力平衡。