一种单晶炉故障本地应急控制箱
专利号：CN217997408U
成果方：北京北方华创真空技术有限公司
成果类型：实用新型
发明人：田绍轩
授权日：2022-12-09
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本申请涉及单晶炉技术领域，具体涉及一种单晶炉故障本地应急控制箱。一种单晶炉故障本地应急控制箱，其特征在于，应急控制箱与单晶炉电性连接，应急控制箱包括：控制箱开关、电源模块、控制模块、外部信号端子排、中间继电模块和电位计信号隔离变送模块；控制箱开关用于启动应急控制箱；电源模块用于为应急控制箱的启动及工作提供电力源；中间继电模块用于使控制模块得电；控制模块用于控制单晶炉恢复工作。在单晶炉的PLC控制器故障时，通过控制箱开关启动应急控制箱，通过控制模块恢复对单晶炉各项功能的控制，让单晶炉可以继续工作，防止单晶炉运行中断，造成经济损失或安全事故。