长晶设备手动冷却装置
专利号：CN220034744U
成果方：通威微电子有限公司
成果类型：实用新型
发明人：李书文; 王奇缘; 罗鸿
授权日：2023-11-17
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本实用新型实施例提供一种长晶设备手动冷却装置，涉及长晶设备冷却技术领域。长晶设备手动冷却装置包括手摇吸水泵、出水管、第一回水管、第一散热盘管、第二回水管、水箱和吸水管；手摇吸水泵、出水管、长晶设备、第一回水管、第一散热盘管、第二回水管、水箱和吸水管依次首尾连通，形成冷却水循环回路；手摇吸水泵的位置高于长晶设备和水箱。该装置中各个零部件不依靠电力驱动，通过工作人员操作手摇吸水泵即可实现整个装置工作，实现对长晶设备的循环冷却，能够在电力中断或电动水泵损坏等极端情况下，作为长晶设备的应急冷却装置，而且冷却效果较好。