一种用于吸附乙硼烷和磷烷的干式尾气处理装置
专利号：CN217068269U
成果方：中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司
成果类型：实用新型
发明人：闫云; 张净普; 李旭; 王星帅; 王坤; 殷越玲; 姜世楠
授权日：2022-07-29
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本实用新型提供了一种用于吸附乙硼烷和磷烷的干式尾气处理装置，包括第一吸附桶、第二吸附桶和应急吸附桶，第一吸附桶通过连接管连接第二吸附桶，第一吸附桶上连接第二输气管，应急吸附桶通过第一输气管连接在第二输气管上，应急吸附桶上连接排气管，第二吸附桶通过固定管连接在排气管上，排气管上设置风机。本实用新型结构简单合理，可以对两种气体进行吸收，避免超标排放，安全性强，实用价值高，可推广使用。