一种碳化硅单晶炉用坩埚尺位升降测量装置
专利号：CN215491988U
成果方：河北天达晶阳半导体技术股份有限公司
成果类型：实用新型
发明人：田茗文; 李文勇; 陈荣坤; 张冬
授权日：2022-01-11
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本实用新型公开了一种碳化硅单晶炉用坩埚尺位升降测量装置，涉及碳化硅单晶炉用具技术领域；数显标尺的两端均安装有标尺安装座，数显标尺的滑块上安装有连接板体，连接板体的另一端与坩埚尺位升降块连接，连接板体的右端安装有指针体，数显标尺的右侧设置有测量尺，测量尺的两端均安装有测量尺安装座，测量尺的中部安装有照明灯体，照明灯体的电源端通过开关与电源连接，指针体与测量尺相配合；本实用新型能够实现快速测量，且能够直接显示测量数据，当数显标尺出现故障时能够应急测量；结构简单，能够提高整体的效率，稳定性高，使用方便，操作简便。