一种单晶炉真空应急加副泵循环装置
专利号：CN219731134U
成果方：内蒙古昌瑞半导体材料有限公司
成果类型：实用新型
发明人：郝焱; 史慧敏; 郝朝旭; 李康
授权日：2023-09-22
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本实用新型公开了一种单晶炉真空应急加副泵循环装置，包括应急泵、负压罐、真空泵和单晶炉，所述应急泵通过止回阀连接于负压罐，所述应急泵设有两组，所述负压罐通过截止阀连接于真空泵，所述负压罐通过闸板阀连接于单晶炉，所述真空泵和负压罐的连接端设有止回阀且连接于单晶炉。本实用新型属于单晶炉技术领域，具体是指一种单晶炉真空应急加副泵循环装置。